高频电源维修范围：
刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等工艺设备电源维修，进口设备工业电源、中科院射频电源、高频电源、美国AE电源维修 ,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源 CLX系列低频电源等。高频开关电源维修产品详细信息高频开关电源维修、高频电源维修范围：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等工艺设备电源维修，进口设备工业电源、中科院射频电源、高频电源、美国AE电源维修 ,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源 CLX系列低频电源、CLF系列低频电源、CX系列高频电源、CX5K和CX10K高频射频功率源、CXH系列高功率/高频电源、CPS系列高频电源、CB系列高频射频电源、CV系列甚频（VHF）电源、CDX系列双频电源、XDC1000直流电源、MATCH自动调谐网络、ESC系列静电夹盘电源 ,美国AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle，Pinnacle，Diamond系列 等DC( 直流系列 ) :
MDX Series: MDX500，MDX 5KW,MDX 10KW, MDX13KW，MDX II 15KW, MDX II 30KW soires : DC PULSAR
AC( 交流 / 中频系列 ) :
PE: PE 1000,PE 2500,PE 3750,PE 5000,PE-10K,P E-20K,PE-30K,PE-1000SG
PEII :PE II 5KW,PE II 10KW,PE II 60KW
RF ( 射频系列 ) :
RFG : RFG 80维修,RFG 1250,RFG 1250 HALO,RFG 1251,RFG 3000维修,RFG 3001维修,RFG 5500维修,RFG 2K-2V,RFDS 1250,RFDS 1250-A,RFDS 3000维修,RFDS 2Kw-2KV
RFX : RFX 600维修,RFX 600A维修,RFX 1250维修,RFX 2500维修RFG-AZX维修
M2溅镀电源 Thor 12K DC Plasma Power Supply. SINGULUS维修。ADL电源GSC80维修 GSC120维修，GX80维修 GX120维修 GX100 直流电源维修系列。